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请帮我解释一下「离子铣」这个词的含义。

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「离子铣」释义报告

拼音 lí zi xǐ · 更新 2026-08-17 16:06:22

读音

  • 拼音lí zi xǐ
  • 字母li zi xi
  • 首字母lzx
  • 注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ

补充释义

离子铣,也称为离子束刻蚀(IBE),是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。