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请帮我解释一下「离子铣」这个词的含义。
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「离子铣」释义报告
读音
- 拼音lí zi xǐ
- 字母li zi xi
- 首字母lzx
- 注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ
补充释义
离子铣,也称为离子束刻蚀(IBE),是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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