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请帮我解释一下「光刻法」这个词的含义。
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「光刻法」释义报告
读音
- 拼音guāng kè fǎ
- 字母guang ke fa
- 首字母gkf
- 注音ㄍㄨㄤ ㄎㄜˋ ㄈㄚˇ
补充释义
用光致抗蚀胶制作图形的一种方法,如彩色滤光膜制作时颜料分散法和染色法采用的光刻法。它是将颜料或染料分散在感光胶中,通过掩膜曝光,被曝光部分感光胶聚合,变成非水溶性胶膜在显影时留下,其余部分被冲洗掉,如此重复3次,形成三色彩色滤光膜。
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