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请帮我解释一下「衍射光学元件」这个词的含义。
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「衍射光学元件」释义报告
读音
- 拼音yǎn shè guāng xué yuán jiàn
- 字母yan she guang xue yuan jian
- 首字母ysgxyj
- 注音ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ
补充释义
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
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