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请帮我解释一下「离子注入机」这个词的含义。

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「离子注入机」释义报告

拼音 lí zi zhù rù jī · 更新 2026-08-17 21:53:18

读音

  • 拼音lí zi zhù rù jī
  • 字母li zi zhu ru ji
  • 首字母lzzrj
  • 注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄓㄨˋ ㄖㄨˋ ㄐㄧ

补充释义

离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。