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请帮我解释一下「离子束探针」这个词的含义。

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「离子束探针」释义报告

拼音 lí zi shù tàn zhēn · 更新 2026-08-17 16:48:31

读音

  • 拼音lí zi shù tàn zhēn
  • 字母li zi shu tan zhen
  • 首字母lzstz
  • 注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄊㄢˋ ㄓㄣ

补充释义

离子束探针,以聚焦很细(1~2微米)的高能(10~20千电子伏)一次离子束作为激发源照射样品表面,使其溅射出二次离子并引入质量分析器,按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器,聚焦很细,为1~2微米。