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请帮我解释一下「直流溅射」这个词的含义。
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「直流溅射」释义报告
读音
- 拼音zhí liú jiàn shè
- 字母zhi liu jian she
- 首字母zljs
- 注音ㄓˊ ㄌㄧㄡˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ
补充释义
直流溅射是指利用直流辉光放电产生的离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术。直流溅射装置主要由真空室、真空系统和直流溅射电源构成。
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