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请帮我解释一下「光掩膜」这个词的含义。

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「光掩膜」释义报告

拼音 guāng yǎn mó · 更新 2026-08-17 14:06:26

读音

  • 拼音guāng yǎn mó
  • 字母guang yan mo
  • 首字母gym
  • 注音ㄍㄨㄤ ㄧㄢˇ ㄇㄛˊ

补充释义

在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到晶圆(wafer)制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最高的一部分,也是限制最小线宽的瓶颈之一。