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读音

• 拼音duì zhǔn jīng dù
• 字母dui zhun jing du
• 首字母dzjd
• 注音ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ

补充释义

光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。